申請?zhí)?專利號: 99805102 本發(fā)明提供一種腐蝕銅層的方法,該方法能夠去除希望的導(dǎo)電互連結(jié)構(gòu)的不需要的膜部分,同時避免結(jié)構(gòu)的過腐蝕和在被腐蝕銅層表面上形成侵蝕表面沾污。深腐蝕所淀積的銅層到含有填充有銅的溝槽和通道的上或“場”表面。可以利用低溫區(qū),主要利用銅表面的物理轟擊,在襯底表面上進行銅層深腐蝕?;蛘撸诩s150℃的高溫區(qū),利用三種不同的腐蝕劑,進行深腐蝕。腐蝕等離于體可以僅由非反應(yīng)氣體形成,僅由產(chǎn)生氯或氟等反應(yīng)物質(zhì)的氣體形成,或可由用于調(diào)節(jié)選擇性和腐蝕速率的非反應(yīng)氣體的組合形成。
申請日: | 1999年03月01日 |
公開日: | 2001年05月30日 |
授權(quán)公告日: | 2004年01月14日 |
申請人/專利權(quán)人: | 應(yīng)用材料有限公司 |
申請人地址: | 美國加利福尼亞 |
發(fā)明設(shè)計人: | 葉雁;D·X·馬 |
專利代理機構(gòu): | 中國國際貿(mào)易促進委員會專利商標(biāo)事務(wù)所 |
代理人: | 段承恩 |
專利類型: | 發(fā)明專利 |
分類號: | C23F4/00;H01L21/3213 |
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