在JGP560V磁控濺射鍍膜設備上鍍制多晶銅膜，利用納米壓入技術測量了其室溫下的蠕變性能。結果表明：由于不同加載方式下，材料加工硬化程度的不同造成了應力指數(shù)的差異，因而，不同加載方式對測得的銅膜蠕變應...
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